规格

单位

技术指标

工件直径

mm

Ø150 / Ø300

磨削方式

整面磨削 / 留边磨削

金刚石砂轮（兼容DISCO砂轮）

mm

Ø300

砂轮轴数量

1

砂轮轴功率

kW

7.5

砂轮轴转速

r/min

1000~4000

Z轴行程

mm

120

Z轴磨削进给速度

mm/s

0.0001~0.08

Z轴最小进给量

µm

0.1

硅片厚度测量范围

µm

0~1800

厚度测量分辨率

µm

0.1

夹持方式

多孔真空吸盘

工件轴数量

1

工件轴转速

r/min

10~300

磨削后TTV

µm

1.5

磨削后片间厚度偏差

µm

±3

精磨后表面粗糙度

Ra

10nm

外形尺寸（W × D × H）

mm

850×1760×1900

整机净重

kg

2200